操纵原子束的激光系统研究

作     者：陈元培 陈旭南 罗先刚 李展 

作者机构：中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 

基　　金：中科院知识创新基金资助项目 (A2K0 0 9) 微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助 

出 版 物：《微细加工技术》 (Microfabrication Technology)

年 卷 期：2002年第2期

页      码：19-23页

摘      要：重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点 ,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距 1 93 .3mm ,F/ # =1 .9,λ =0 .67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率 1 0×的缩束光学系统。研究结果表明 ,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作 ,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点。

主 题 词：原子束 激光系统 纳米加工 准直系统 微电子 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203650052...