硅基二氧化硅波导阵列相位控制芯片

作     者：颜跃武 安俊明 张家顺 王亮亮 李建光 王红杰 吴远大 尹小杰 王玥 YAN Yue-wu;AN Jun-ming;ZHANG Jia-shun;WANG Liang-liang;LI Jian-guang;WANG Hong-jie;WU Yuan-da

作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室北京100083 中国科学院大学材料科学与光电技术学院北京100083 

基　　金：国家重点研发计划(No.2018YFA0306403) 国家自然科学基金重点项目(Nos.61435013 61405188) 王宽诚率先人才计划"产研人才扶持项目"(No.201766) 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2019年第48卷第4期

页      码：1-8页

摘      要：设计并制作了硅基二氧化硅波导阵列相控芯片,该芯片由分束单元、相位调制单元、输出波导阵列三部分构成,分束单元采用三级1×2的光分束器级联而成,相位调制单元采用热光调制方式,输出部分包含8根密集阵列波导.8根波导输出的光在远场发生干涉,形成扫描光束,加电后通过二氧化硅热光效应,折射率变化0.027%(0.000 4)时,扫描光束偏转5.5°.该波导相控阵列采用2.0%超高折射率差的硅基二氧化硅波导为材料,经等离子体增强化学气相沉积法进行材料生长及退火,再经电感耦合等离子体干法刻蚀技术进行刻蚀,最后切割抛光制作而成.测试结果表明,静态下该芯片8条输出阵列波导形成清晰干涉光斑,在电压达到130V时,热调制相位后,光斑移动5.5°.

主 题 词：光子器件 光学相控阵 硅基二氧化硅 热光调制 不等间距波导 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20194804.0423001

馆 藏 号：203651429...