微平面机构的结构设计与制造

作     者：李伟 陆景唐 季超仁 宋汉斌 董鸣 蔡建中 

作者机构：上海科学技术大学精密机械系上海201800 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：1993年第1卷第6期

页      码：34-39页

摘      要：本文通过微平面机构的设计制造和测试研究,提出了一整套行之有效的工艺方法,所制造的微机构运动自如,文章还进一步探讨了有关运动、动力、摩擦等方面的问题。

主 题 词：微机构 工艺 微平面机构 集成电路 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203654668...