微电机粗糙表面粘附仿真分析

作     者：田文超 贾建援 

作者机构：西安电子科技大学机电工程学院陕西西安710071 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2002AA862011) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2004年第23卷第10期

页      码：33-34,40页

摘      要：针对粘附现象严重影响微电机性能的问题,建立了微电机粗糙表面"截球型"粘附物理模型;根据Hamaker微观连续介质修正理论,推导出微电机粘附力数学模型,仿真出相当表面光洁度等级分别为10级、11级和12级的微电机粘附力数值结果,从而为微电机的结构设计提供了理论依据。

主 题 词：微电机 粗糙表面 粘附力 微观连续介质修正理论 微电子机械系统 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2004.10.012

馆 藏 号：203654700...