微小流量传感器的数值模拟

作     者：沈克强 童勤义 

作者机构：东南大学微电子中心南京210018 

基　　金：国家教委博士点基金资助项目(9028611) 

出 版 物：《固体电子学研究与进展》 (Research & Progress of SSE)

年 卷 期：1993年第13卷第1期

页      码：18-24页

摘      要：给出了微小流量传感器的数值模型,并进行了数值模拟。数值模型表明流体前端与末端两端点间距是提高传感器灵敏度的关键因素,数值模拟结果为微小流量传感器设计提供了两端点最佳间距。

主 题 词：传感器 数值模型 流量测量 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

馆 藏 号：203654885...