对径测量传感器的激光校准方法

作     者：王涛 仲思东 余学锋 WANG Tao;ZHONG Si-dong;YU Xue-feng

作者机构：武汉大学电子信息学院湖北武汉430079 中国华阴兵器试验中心陕西华阴714200 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2006年第33卷第2期

页      码：261-265页

摘      要：对对径测量传感器的校准方法进行分析和研究,指出了当前手工校准方法存在的弊端和精度低的原因。提出了采用激光干涉仪进行对径测量传感器校准的新构想,实现了被测量到光程差的转化,设计了相应的差动校准测量光路,有效地消除了阿贝误差的影响,校准精度从原来的2.0μm提高到0.14μm,同时可得到被测传感器完整的校准曲线,实现了对径测量传感器的高精度、连续化、全自动校准。

主 题 词：仪器 传感器 校准 激光干涉仪 差动光路 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0258-7025.2006.02.024

馆 藏 号：203655226...