Piezo微步进工作台主框架研究

作     者：周自强 马文斌 沈世德 沈连婠 ZHOU Zi-qiang;MA Wen-bin;SHEN Shi-de;SHEN Lian-guan

作者机构：常熟理工学院机电工程系常熟215500 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥230026 

基　　金：江苏省高校自然科学研究项目(06KJD460004) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2009年第7期

页      码：185-187页

摘      要：为了扩大微动工作台的有效行程,提出一种新型的基于Piezo驱动的微步进X-Y工作台,通过机构仿真确定了微步进工作台主框架中各柔性铰链的转角参数,并据此确定了主框架中各柔性铰链的结构参数,最后通过非线性有限元对整个微步进工作台主框架的变形情况进行了分析。

主 题 词：微步进 柔性铰链 设计 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2009.07.075

馆 藏 号：203656436...