低噪声电容式MEMS加速度计接口专用集成电路设计(英文)

作     者：刘云涛 刘晓为 陈伟平 尹亮 吴群 LIU Yun-tao;LIU Xiao-wei;CHEN Wei-ping;YIN Liang;WU Qun

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨150001 哈尔滨工业大学微系统与微结构教育部重点实验室哈尔滨150001 

基　　金：国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2008AA042201) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2010年第8卷第2期

页      码：177-182页

摘      要：为了提高MEMS电容式加速度计的检测分辨率,降低系统噪声,提出了一种改进的基于开关电容的闭环检测电路.该电路采用新型的电荷积分器实现电容-电压转换,对寄生电容不敏感,具有非常低的噪声,同时,降低了由于运放的有限带宽、有限增益以及失调造成的影响.采用相关双采样(CDS)技术进一步消除了1/f噪声和电路中的失调.同时为了精确模拟传感器的结构部分,对结构的等效电学模型进行了改进,引入两个压控电流源,分别由互为反相的两个时钟信号控制,消除了运放失调、噪声等非理想因素产生的误差.实验制作了ASIC芯片与传感器结构的双片集成微加速度计,芯片采用0.5μmCMOS工艺流片,系统测试结果表明该闭环加速度计的灵敏度为620mV/g,非线性度为0.126%,噪声密度为24μ***-21,整体功耗为30mW.

主 题 词：加速度计 闭环 电荷积分器 低噪声 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2010.02.015

馆 藏 号：203656699...