平面二自由度并联执行机构的设计与实现

作     者：吴学忠 吴宇列 李圣怡 WU Xue-zhong;WU Yu-lie;LI Sheng-yi

作者机构：国防科技大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 

基　　金：海外青年学者合作研究基金! (5 0 0 2 95 0 1) 

出 版 物：《国防科技大学学报》 (Journal of National University of Defense Technology)

年 卷 期：2001年第23卷第1期

页      码：40-43页

摘      要：介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链 ,使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积 ,并具有较高的刚度 ,可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明 ,该系统的轨迹跟踪误差均低于 0 5mm。

主 题 词：平面二自由度 并联执行机构 奇异性 冗余 设计 半导体制造设备 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080203[080203] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2486.2001.01.010

馆 藏 号：203658673...