射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析

作     者：侯廉平 陈培峰 王圩 朱洪亮 

作者机构：中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心北京100083 华中科技大学激光技术与工程研究院武汉430074 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2004年第28卷第2期

页      码：137-140页

摘      要：介绍了RFCO2 激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则 ,讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟 ,给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符。

主 题 词：陶瓷基板 划片机 光路 设计 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3806.2004.02.029

馆 藏 号：203660076...