柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器

作     者：齐振恒 张彤 张晓阳 胡德文 

作者机构：国防科技大学机电工程与自动化学院长沙410073 东南大学电子科学与工程学院南京210096 

基　　金：教育部“新世纪优秀人才”支持计划资助(NCET-05-465) 部委项目资助 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2009年第22卷第3期

页      码：337-339页

摘      要：给出了一种利用柔性-微环光波导耦合结构的集成光学加速度传感器,通过聚合物材料设计的柔性光波导,在外力作用下产生形变,该形变改变了柔性光波导与微环光波导的层间距,从而改变波导耦合器的耦合比,使得微环光波导谐振腔输出谱特性发生相应改变,继而有效地实现了加速度的传感。本文给出了这种新型的设计,推导了其检测原理并同时分析了其灵敏度的影响因素。

主 题 词：微环光波导 柔性光波导 耦合比 加速度传感 光学谐振腔 

学科分类：0831[工学-公安技术类] 1004[医学-公共卫生预防医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 10[医学] 

核心收录：

馆 藏 号：203663429...