往复式压电微型泵的研究进展

作     者：耿照新 崔大付 王海宁 GENG Zhao-xin;CUI Da-fu;WANG Hai-ning

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100080 

基　　金：国家自然科学重大基金项目(20299030) 重点基金项目(604270001) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2006年第2期

页      码：49-51,54页

摘      要：介绍往复式压电微泵20多年的发展概况。给出了往复式压电微泵的各种不同结构、主要性能参数、工作原理、材料和加工技术,为压电微泵的设计和加工提供参考,也提出目前存在的问题、研究的方向及应用前景。

主 题 词：压电 微泵 微加工 研究进展 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2006.02.020

馆 藏 号：203665801...