折叠波导几何尺寸自动测量方法及误差分析

作     者：王建 李飞 孙宇辉 赵建东 段海霞 Wang Jian;Li Fei;Sun Yuhui;Zhao Jiandong;Duan Haixia

作者机构：中国科学院电子学研究所空间行波管研究发展中心 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2019年第39卷第4期

页      码：316-325页

摘      要：根据W波段行波管的设计要求,考虑加工设备的固有精度,编写测量程序,实现了折叠波导多周期微结构的自动精密测量。实际应用时,利用视频影像测量显微镜、工具显微镜、激光共聚焦显微镜和高度计完成了W波段行波管折叠波导慢波结构关键几何尺寸的全自动和半自动测量,分析了测量误差的来源,提出了最大限度减小误差的方法,各个尺寸的测量精度全部控制在1.5jim以内,测量时间从原来的3h缩短到了1h以内,显著提高了工作效率,为折叠波导行波管的批量生产节约了时间和人力成本。

主 题 词：折叠波导 尺寸测量 误差分析 行波管 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.08

馆 藏 号：203665970...