基于ARM的放电概率电火花线切割半导体伺服系统设计及工艺研究

作     者：刘洛尘 邱明波 沈理达 赵剑峰 邵程杰 刘志东 LIU Luochen;QIU Mingbo;SHEN Lida;ZHAO Jianfeng;SHAO Chengjie;Liu Zhidong

作者机构：南京航空航天大学机电学院江苏南京210016 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51575271 51675272 U1532106) 

出 版 物：《电加工与模具》 (Electromachining & Mould)

年 卷 期：2019年第2期

页      码：25-30页

摘      要：由于硅晶体具有体电阻和接触势垒,传统电火花线切割伺服控制系统会对其失效,而现有的基于放电概率检测的伺服控制系统尚不完善,对加工工艺参数的探索不够深入。分析了硅晶体的放电特性,以放电概率检测为依据、以ARM控制器为控制核心,设计并搭建了一套具有电参数进给速度同步调节特性的伺服控制系统,可基于该系统实现硅晶体的稳定自动化切割。通过切割实验证明了新系统的可行性,通过几组实验探究了脉宽和目标放电概率与加工质量的关系并对加工参数进行了优化,还通过圆柱体切割实验证明了采用新系统能得到更高的形状精度。

主 题 词：电火花线切割加工 半导体硅 放电概率 伺服控制 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-279X.2019.02.006

馆 藏 号：203667284...