单晶金刚石飞秒激光加工的烧蚀阈值实验
作者机构：湖南大学汽车车身先进设计制造国家重点实验室湖南长沙410082 湖南大学激光研究所湖南长沙410082
基 金：国家自然科学基金(51675172) 湖南省研究生科研创新项目(CX2017B082)
出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)
年 卷 期：2019年第46卷第4期
页 码：26-33页
摘 要：采用不同功率的飞秒激光对单晶金刚石分别进行了单脉冲分离烧蚀实验和多脉冲累积烧蚀实验,计算得到了单晶金刚石材料的单脉冲烧蚀阈值和多脉冲累积烧蚀阈值,并研究了多脉冲作用下单晶金刚石烧蚀阈值的变化。结果表明:单晶金刚石的飞秒激光单脉冲烧蚀阈值为8.80 J/cm^2;随着有效脉冲数增加,烧蚀阈值逐渐减小;当有效脉冲数小于124时,烧蚀阈值随有效脉冲数的增加而急剧减小;当有效脉冲数增加到486后,烧蚀阈值减小的趋势趋于平缓。有效脉冲数486、激光平均功率10.7 W是最优的激光加工工艺参数。
主 题 词：激光技术 激光器与激光光学 激光烧蚀 飞秒激光 单晶金刚石 烧蚀阈值
学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类]
核心收录：
D O I：10.3788/CJL201946.0402001
馆 藏 号：203668441...
