微型化半球陀螺制备工艺发展现状及趋势分析

作     者：庄须叶 王世和 李平华 吕东锋 ZHUANG Xu-ye;WANG Shi-he;LI Ping-hua;LYU Dong-feng

作者机构：华东光电集成器件研究所蚌埠233030 

基　　金：国家自然科学基金(编号:51875585) 

出 版 物：《导航与控制》 (Navigation and Control)

年 卷 期：2019年第18卷第2期

页      码：52-60页

摘      要：因低噪声、高性能、无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、航天领域内的最佳导航陀螺。半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,全球各研究单位设计了多种形态的谐振器结构,开发了各具特色的加工工艺,其选用的材质也各不相同,并研制出了形态各异的微半球陀螺结构。对半球陀螺微型化的历程和方式进行了综述,着重对微型化半球陀螺壳体谐振器的结构形态、工艺制备方法和选材进行了对比和分析,并对各微型化途径的特点进行了讨论和展望。

主 题 词：微半球陀螺 微谐振器 微机电系统 微加工工艺 壳体谐振器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 081105[081105] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-5558.2019.02.009

馆 藏 号：203669178...