电容式湿度传感器读出电路的设计

作     者：肖小霞 魏榕山 XIAO Xiao-xia;WEI Rong-shan

作者机构：福州大学物理与信息工程学院福建福州350116 

基　　金：福建省自然科学基金(2018J01803) 

出 版 物：《中国集成电路》 (China lntegrated Circuit)

年 卷 期：2019年第28卷第5期

页      码：34-38,93页

摘      要：本文提出了一个电容式湿度传感器的读出电路,实现对湿度电容信号到数字信号的转换,即电容数字转换器(CDC)。该CDC采用Sigma-Delta调制技术进行电容信号的转换,同时采用Zoom-i n技术,减少参考电容的大小,扩展电容测量范围。本设计采用SMI C 0. 18μm CMOS工艺,电源电压为1. 8 V,采样时钟频率为250 KHz。仿真结果表明该调制器精度达到13 bi t,整个调制器共消耗电流为180μA,输入电容的共模范围为0-8pF,动态范围为-0. 26 pF～+0. 26 pF。

主 题 词：电容式湿度传感器 电容数字转换器 Sigma-Delta调制 Zoom-in技术 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1681-5289.2019.05.006

馆 藏 号：203669314...