基于SECS/GEM标准的半导体设备配方管理系统设计

作     者：魏秋雨 张志胜 Wei Qiuyu;Zhang Zhisheng

作者机构：东南大学机械工程学院江苏南京211189 

出 版 物：《机械设计与制造工程》 (Machine Design and Manufacturing Engineering)

年 卷 期：2019年第48卷第4期

页      码：60-63页

摘      要：设计了一种基于SECS/GEM标准的半导体封装测试设备配方管理系统(RMS),该系统能够实现配方(recipe)程序的上传、下载、参数修改调优以及设备状态实时监控等,减少了半导体生产过程中使用程序错误、错误修改参数等因素产生的生产事故和良品率降低等问题。实际应用表明,该系统可缩短产品生产周期,提高设备的综合效率。

主 题 词：SECS/GEM标准 半导体 配方管理系统 设备自动化 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.2095-509X.2019.04.013

馆 藏 号：203670673...