热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析

作     者：邵壮 延峰 柏向春 董云宁 宋瑞海 魏萌萌 卢耀文 Shao Zhuang;Yan Feng;Bai Xiangchun;Dong Yunning;Song Ruihai;Wei Mengmeng;Lu Yaowen

作者机构：北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100086 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2019年第39卷第4期

页      码：297-303页

摘      要：针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100MQ^100GQ负载条件,负载为1GQ时输出电流相对变化率为0.3×10%解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题,达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果,为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考。

主 题 词：电离真空计 校准装置 电参数 PSPICE仿真 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.04.05

馆 藏 号：203670683...