基于膜系设计控制薄膜残余应力的研究

作     者：夏志林 薛亦渝 郭培涛 黄才华 李展望 傅志伟 XIA Zhi-lin;XUE Yi-yu;GUO Pei-tao;HUANG Cai-hua;LI Zhan-wang;FU Zhi-wei

作者机构：武汉理工大学材料科学与工程学院湖北武汉430070 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10804090) 武汉理工大学校自由探索基金资助项目(XJJ2007031) 博士科研启动基金(471-38650322) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2009年第46卷第1期

页      码：22-25页

摘      要：残余应力大的薄膜,容易产生脱膜现象,使得薄膜失去所需功能。在激光薄膜领域,残余应力也是薄膜激光损伤阈值难以提高的原因之一。基于热收缩效应模型和弹性力学原理,从薄膜膜系着手提出了控制薄膜残余热应力的膜系设计原则,将该原则的评价函数用于薄膜膜系设计中,采用优化方法可以设计出残余热应力可接受的薄膜。

主 题 词：光学薄膜 残余热应力 膜系设计 有限元模拟 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2009.01.010

馆 藏 号：203671542...