MEMS的多物理场设计

作     者：顾页 李志宏 

作者机构：北京邮电大学电子工程系100076 北京大学微电子所100871 

出 版 物：《计算机辅助设计与制造》 (CAD/CAM)

年 卷 期：1999年第4期

页      码：55-57页

主 题 词：MEMS 物理场 设计 微电子机械系统 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203672265...