用117μm合成波长实现绝对距离干涉测量

作     者：梁晶 龙兴武 张斌 金世龙 

作者机构：国防科学技术大学光电学院光电工程系湖南长沙410073 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2010年第30卷第10期

页      码：2947-2951页

摘      要：根据以前双纵模绝对距离测量中合成波长过大导致误差较大的缺点,设计了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。采用633 nm双纵模He-Ne激光器中的一个纵模和629 nm波长的He-Ne激光组成117μm合成波长,使用双外差干涉技术对距离改变进行精密测量。静态稳定度和动态测量实验表明,由于采用了较小的合成波长,系统的测量不确定度可以达到3.8×10-6L+57 nm,在500 mm的距离上不确定度小于2μm。最后从合成波长不确定性的角度,对干涉系统中的误差作了分析。该系统如能与双纵模拍波测量作衔接则可实现对被测距离由粗至精的测量。

主 题 词：测量 激光干涉仪 绝对距离干涉 多波长 相位测量 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20103010.2947

馆 藏 号：203672358...