一种新型MEMS矢量水听器的设计

作     者：许姣 李俊 张国军 石归雄 张文栋 XU Jiao;LI Jun;ZHANG Guojun;SHI Guixiong;ZHANG Wendong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 中北大学电子测试技术重点实验室山西太原030051 

基　　金：国际科技合作基金资助项目(2010DFB10480) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2012年第34卷第1期

页      码：89-92页

摘      要：针对国内对高灵敏、小体积、造价低的矢量水听器迫切应用需求的现状,提出了一种新型的双"T"型微机电系统(MEMS)矢量水听器。该敏感单元结构可一体化加工,且加工成本低,适合大批量生产,易于阵列化。采用ANSYS仿真,得出1阶共振频率为1 840Hz,压敏电阻位置距离梁根部180μm。对此结构进行声学封装与测试,测试结果表明,该水听器在1kHz的灵敏度达到-175dB,工作频段为100Hz～4kHz,具有良好的"8"指向性。

主 题 词：矢量水听器 微机电系统(MEMS) 封装与测试 ANSYS 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 082403[082403] 08[工学] 0824[工学-林业工程类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2012.01.023

馆 藏 号：203673062...