硅片自动传输系统软硬件设计

作     者：陈小铎 

作者机构：信息产业部电子第四十五研究所甘肃平凉744000 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2000年第29卷第1期

页      码：32-38页

摘      要：论述了硅片自动传输系统的硬件结构及软件设计思想。重点讨论了接口扩展 ,步进电机、力矩电机、电磁阀驱动电路的设计及软件的编程方法。

主 题 词：硅片 自动传输系统 软件开发 接口扩展 设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2000.01.006

馆 藏 号：203673150...