高精度高刚度六自由度调整机构的设计及分析

作     者：贺磊 韩哈斯敖其尔 韩春杨 贺帅 陈立恒 HE Lei;HAN HasiaoQier;HAN ChunYang;HE Shuai;CHEN LiHeng

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130033 中国科学院大学研究生院北京100049 

基　　金：国家自然科学基金项目(11672290) 吉林省科技发展计划项目(20160520074JH) 中国科学院青年创新促进会(2014195)资助~~ 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2019年第41卷第3期

页      码：666-672页

摘      要：设计一种基于Stewart构型的具有高精度和高刚度的六自由度精密调整机构。首先,对调整机构进行构型设计并作了运动学分析;接着,建立了误差模型并对构型进行了精度分析,包括精度分配及模特卡洛模拟法验证;之后,根据理论分析结果,对调整机构进行结构设计,主要包括单足位移促动器的设计和偏置铰链的设计;最后,对调整机构进行了刚度分析。本文的分析结果为此六自由度调整机构的重复定位精度为X、Y向±2μm,Z向±0.54μm,R_x,R_y,R_z方向±6.13μrad,横向振动基频为104.3 Hz,轴向刚度为61.3 N/μm。分析结果显示此六自由度精密调整机构满足设计要求,验证了调整机构结构设计的合理性。

主 题 词：Stewart平台 调整机构 蒙特卡洛模拟 刚度分析 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 0801[工学-力学类] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.16579/j.issn.1001.9669.2019.03.026

馆 藏 号：203673242...