一种扭转谐振式MEMS电场传感器

作     者：储昭志 彭春荣 任仁 凌必赟 张洲威 夏善红 CHU Zhaozhi;PENG Chunrong;REN Ren;LING Biyun;ZHANG Zhouwei;XIA Shanhong

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61327810) 国家"863"计划资助项目(2015AA042602) 中国科学院项目(CXJJ-17-M151) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2019年第38卷第6期

页      码：83-85,88页

摘      要：提出了一种基于微机电系统(MEMS)的扭转谐振式电场传感器。该微型电场传感器的感应电极与屏蔽电极采用共面叉指结构,首次采用扭转谐振的工作方式,显著提高了微型电场传感器的灵敏度。介绍了传感器的工作原理、结构设计、有限元仿真及实验。实验结果表明:在0～50 kV/m电场范围内,该传感器的线性度为0. 14%,3个往返行程的总不确定度优于0. 43%。在增益电阻为100 MΩ的情况下,传感器灵敏度达到4. 55 mV/(kV/m),相对已有传感器灵敏度提高了1个数量级。

主 题 词：微机电系统(MEMS) 电场传感器 扭转谐振 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2019)06-0083-03

馆 藏 号：203673294...