基于Sigma-Delta调制的电容传感器设计

作     者：胡惠文 魏榕山 HU Huiwen;WEI Rongshan

作者机构：福州大学物理与信息工程学院福建福州350116 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61404030) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2019年第38卷第6期

页      码：109-111,114页

摘      要：提出一种基于Sigma-Delta调制的电容传感器芯片,采用三阶Sigma-Delta调制技术实现了电容到数字信号的直接转换,并通过补偿电容器矩阵扩展可测电容值范围,利用电流饥饿型OTA提高运放电流利用率,降低整体功耗。采用SMIC 0. 18μm CMOS工艺,利用Cadence工具对电路进行仿真验证,在2 V的供电电压下,共消耗电流18. 6μA,0. 8 ms转换时间内,调制器实现三阶噪声整形功能,可测输入电容范围为0～8 pF,并实现良好的线性度。

主 题 词：电容传感器 Sigma-Delta调制 电流饥饿型OTA 电容器矩阵 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13873/J.1000-9787(2019)06-0109-03

馆 藏 号：203673317...