太赫兹段慢波结构的微细加工技术研究新进展

作     者：吴春亚 郭闯强 裴旭东 王廷章 陈妮 陈明君 WU Chunya;GUO Chuangqiang;PEI Xudong;WANG Tingzhang;CHEN Ni;CHEN Mingjun

作者机构：哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室哈尔滨150080 哈尔滨工业大学机电工程学院哈尔滨150080 南京航空航天大学机电学院南京210016 

基　　金：“十三五”装备预研共用技术、国家重点研发计划(2017YFB0305903) 国家自然科学基金创新研究群体科学基金(51521003)资助项目 

出 版 物：《机械工程学报》 (Journal of Mechanical Engineering)

年 卷 期：2019年第55卷第7期

页      码：187-198页

摘      要：太赫兹波兼具穿透性强、使用安全性高、定向性好、带宽高等技术特性,在国防、深空通信、远程成像、安全检查和医疗诊断等领域具有重大应用前景。基于慢波结构的电真空器件是在太赫兹频段产生瓦级功率输出,同时实现太赫兹辐射源小型化和经济化最具潜力的一种解决方式。慢波结构作为此类电真空器件的核心零件,其物理设计及制造水平将直接影响器件的带宽和增益,因此,从适合工作在太赫兹频段的慢波结构类型、加工精度与表面质量要求,以及制备工艺3个方面出发,对慢波结构的微细加工技术研究现状进行综述,重点分析太赫兹频段慢波结构的关键制造技术水平及应用现状,并探讨其在发展过程中需要面临的挑战和仍需注重解决的问题,希望能为后续高频器件研究工作的推进提供参考。

主 题 词：太赫兹波 慢波结构 微细加工 电真空器件 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3901/JME.2019.07.187

馆 藏 号：203673341...