微机械陀螺冲击特性及可靠性研究

作     者：何春华 赵前程 杨振川 张大成 闫桂珍 HE Chunhua;ZHAO Qiancheng;YANG Zhenchuan;ZHAND Dacheng;YAN Guizhen

作者机构：北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室北京100871 美的集团广东佛山528311 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2019年第32卷第5期

页      码：643-648页

摘      要：为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和冲击加速度幅值越大时,则冲击带来的影响就越大,梁越容易发生断裂失效。因此要使MEMS陀螺具有较强的抗冲击能力,必须综合优化设计陀螺的真空度和固有频率。

主 题 词：微机械陀螺 冲击可靠性 响应模型 冲击特性 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2019.05.001

馆 藏 号：203673356...