一种新型精密微定位平台的设计与分析

作     者：唐军 陈庭辉 尹磊 秦智 杨书麟 TANG Jun;CHEN Ting-hui;YIN Lei;QIN Zhi;YANG Shu-lin

作者机构：江西理工大学机电工程学院江西赣州341000 

基　　金：国家自然科学基金项目(51104067 51565016) 

出 版 物：《机械设计》 (Journal of Machine Design)

年 卷 期：2019年第36卷第5期

页      码：65-70页

摘      要：为了减小微定位平台的寄生运动,提高微定位平台的直线度,采用二级柔顺杠杆机构作为放大机构,以直梁型柔性铰链作为导向机构,设计了一种基于压电陶瓷驱动的新型精密微定位平台。根据虚功原理建立了新型精密微定位平台的理论模型,推导了其放大倍数、刚度的计算公式;采用ANSYS Workbench对新型精密微定位平台进行了有限元仿真分析,并搭建了试验测试系统。试验结果表明:微定位平台的最大行程可以达到68.32μm,放大倍数可以达到2.02,直线度为1.19%～1.42%,误差较小。经比较分析,试验结果与理论值贴合度较高,表明二级柔顺杠杆机构响应速度快、定位精度较高。

主 题 词：微定位平台 杠杆机构 虚功原理 有限元仿真 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13841/j.cnki.jxsj.2019.05.013

馆 藏 号：203673380...