软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计

作     者：王占山 顾中祥 王洪昌 陈玲燕 WANG Zhan-Shan;GU Zhong-xiang;WANG Hong-chang;CHEN Ling-Yan

作者机构：同济大学精密光学工程技术研究所上海200092 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10435050 60378021) 上海市科委纳米专项基金资助项目(0352nm090) 

出 版 物：《同济大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tongji University:Natural Science)

年 卷 期：2005年第33卷第7期

页      码：859-863页

摘      要：叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过程中,由于表界面粗糙度和扩散的不同对元件性能的影响,这些工作为制作软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器提供了设计基础.

主 题 词：软X射线 多层膜 透射式起偏器和检偏器 评价函数 偏振率 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-374X.2005.07.002

馆 藏 号：203680703...