基于磁致伸缩多层膜的磁声表面波传感器

作     者：刘力 刘国 刘婉 鲁亚巍 白飞明 LIU Li;LIU Guo;LIU Wan;LU Yawei;BAI Feiming

作者机构：电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室四川成都610054 电子信息控制重点实验室四川成都610036 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61871081) 电子信息控制重点实验室基金资助项目 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2019年第41卷第3期

页      码：335-339,343页

摘      要：研究了一种基于FeCoSiB/SiO 2多层膜的磁声表面波(MSAW)传感器,其中FeCoSiB/SiO 2 多层膜制备在石英声表面波(SAW)谐振器上。在外加磁场发生变化时,FeCoSiB/SiO 2 多层膜通过巨杨氏模量效应影响压电衬底表层的相速度,进而改变SAW的谐振频率。通过设计和优化磁致伸缩多薄膜的结构和软磁性能,不仅获得磁致伸缩层总厚度与谐振器品质因数的关系,而且成功使磁敏传感器的灵敏度(Δ f/H ,即施加单位磁场时的谐振频率的变化量)提升了2个数量级,达到419 Hz/μT。在此基础下,探讨了Δ f - H 曲线在难、易轴方向表现出蝴蝶型和回线型特性的机理。由于该传感器具有很高的磁场灵敏度和良好的方向选择性,在微弱磁场(如地磁场)检测领域将具有极高的实用价值。

主 题 词：磁传感器 软磁薄膜 杨氏模量效应 各向异性 声表面传感器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2019.03.004

馆 藏 号：203681287...