薄膜相对介电常数测量仪器的设计与研究

作     者：张超 裘祖荣 樊玉铭 郭丽峰 张嘉亮 ZHANG Chao;QIU Zu-rong;FAN Yu-ming;GUO Li-feng;ZHANG Jia-liang

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2008年第5期

页      码：14-15,18页

摘      要：研制测量薄膜相对介电常数的仪器,用于生产中在线监测薄膜的厚度。该仪器采用将平行板电容器充满薄膜的电容值与充满空气的电容值相比的方法得出薄膜的相对介电常数,并采用等位环技术,减小了两极板在边缘处产生边缘效应所带来的误差,大大提高了测量的精度和准确性。实验表明该仪器使用方便、实用,且有较高的精度。

主 题 词：平行板式电容器 等位环 相对介电常数 串并联 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2008.05.005

馆 藏 号：203684873...