锑化铟p-on-n光伏器件的离子注入设计

作     者：龚晓霞 苏玉辉 雷胜琼 万锐敏 杨文运 GONG Xiao-xia;SU Yu-hui;LEI Sheng-qiong;WAN Rui-min;YANG Wen-yun

作者机构：昆明物理研究所云南昆明650223 

出 版 物：《红外技术》 (Infrared Technology)

年 卷 期：2009年第31卷第4期

页      码：232-235页

摘      要：通过理论分析计算获得了光伏型InSb红外探测器的的优化掺杂浓度及结深。利用LSS理论估算了Be+注入InSb的射程及标准偏差,同时设计了与优化掺杂浓度及结深相对应的注入条件。实验所得典型的R0A为值4.7×103～3×103Ω·cm2,量子效率为0.65～0.7之间。实验R0A值及量子效率与理论结果基本吻合。此工作对离子注入工艺有一定的参考价值。

主 题 词：锑化铟 LSS理论 优化掺杂 离子注入 理论计算 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-8891.2009.04.012

馆 藏 号：203687103...