微靶装配中靶球几何量的高精度测量

作     者：石帅 张林 吴文荣 裘祖荣 Shi Shuai;Zhang Lin;Wu Wenrong;Qiu Zurong

作者机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

基　　金：国家高技术发展计划项目 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2012年第24卷第8期

页      码：1882-1886页

摘      要：为满足微靶装配过程中靶球和靶腔相对位置的严格的要求,保障惯性约束聚变实验的成功,针对机器视觉的几何量测量精度很难达到5μm以下的不足,设计了利用具有亚μm级精度的激光共焦测头对装配中的靶球进行采点扫描以获取其尺寸和位置的非接触测量方法,借助于在线监测系统运动轴的高精度定位,通过上下两个激光共焦测头的组合测量,并采用一种快速而准确的基于点阵插值细分和目标两级提取的测量算法,使在线监测系统的球体几何量测量精度达到了2μm。

主 题 词：微靶装配 靶球 几何量 激光共焦测量 目标提取 

学科分类：08[工学] 082701[082701] 0827[工学-食品科学与工程类] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/hplpb20122408.1882

馆 藏 号：203688583...