红外激光与微水束耦合对准工艺研究

作     者：蒋兴桥 马岩 荣宇 李东旭 JIANG Xing-qiao;MA Yan;RONG Yu;LI Dong-xu

作者机构：沈阳仪表科学研究院有限公司 

基　　金：辽宁省科技创新重大专项(No.201411004)资助 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2019年第49卷第6期

页      码：680-685页

摘      要：红外激光与微水束耦合划切技术是激光划切应用的前沿领域,在硅晶圆、宝石、陶瓷等材料高精度切割方面具有优势,有效地减小了材料的热损伤和熔渣残留。红外激光束与微水束的耦合对准是研究的关键技术。为保证微水束光纤与激光光束耦合的效果,本文设计了高精度三维耦合对准调整结构,结构主要由准直聚焦光路系统、微孔CCD观测系统、二维微位移平台、耦合装置组成;研究了汇聚激光焦平面与微水束起始端(喷口元件)共面调整的关键工艺和激光光束与喷口元件对准的关键工艺;提出了借助屏幕十字线实现两次对准的工艺方法。经试验验证,微水束耦合激光长度稳定,质量良好,可实现对硅基衬底晶圆等材料的高效无损、高精密划切。

主 题 词：激光 微水束 耦合 对准 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5078.2019.06.007

馆 藏 号：203691087...