微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究

作     者：何春华 赵前程 杨振川 张大成 闫桂珍 HE Cliunhua;ZHAO Qiancheng;YANG Zhenchuan;ZHAND Dacheng;YAN Guizhen

作者机构：北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级策点实验室北京100871 美的集团广东佛山528311 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2019年第32卷第6期

页      码：809-814页

摘      要：高加速极限试验可快速暴露MEMS陀螺的缺陷和薄弱环节,针对复合环境应力试验的陀螺失效品,开展了详细的失效定位和机理分析,推导了引线的振动响应特性和固有模态,并提出了引线的抗振设计方法。仿真和实验结果表明,引线固有频率的理论推导模型比较精确,通过缩短引线长度可有效提高引线的固有频率和降低振动应力,从而增强其抗振能力。优化设计后陀螺可耐受频率为0~10 kHz、总均方根为30 gn的加速度随机振动。

主 题 词：微机械陀螺 振动可靠性 响应特性 抗振设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2019.06.002

馆 藏 号：203691140...