化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验

作     者：敬瑀 龚伟 朱黎明 王恩泽 JING Yu;GONG Wei;ZHU Liming;WANG Enze

作者机构：西南科技大学材料科学与工程学院四川绵阳621000 西南科技大学制造科学与工程学院四川绵阳621000 

基　　金：四川省应用基础科学重点资助项目(2017JY0084) 四川省教育厅科研创新团队资助项目(TTD0042) 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2019年第35卷第3期

页      码：195-198页

摘      要：设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)2和Re2(CO)10为前驱体,通过运载气体H2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。

主 题 词：化学气相沉积 Co-Re合金涂层 道尔顿分压定律 设备设计 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.13952/j.cnki.jofmdr.2019.0216

馆 藏 号：203691923...