低成本、小型化微电工艺教学实验室建设

作     者：马铁英 朱东朔 MA Tie-ying;ZHU Dong-shuo

作者机构：中国计量大学光学与电子科技学院浙江杭州310018 复旦大学药学院上海201203 

基　　金：高校双创教育实践研究培育项目(SMPY1718) 中国计量大学校级教学改革项目(HEX2016009) 

出 版 物：《电气电子教学学报》 (Journal of Electrical and Electronic Education)

年 卷 期：2019年第41卷第3期

页      码：130-131,148页

摘      要：针对微电子工艺实验室造价维护成本高昂和非重点院校建设经费少的矛盾,本文提出了小型化、低成本的半导体工艺实验室建设模式,在控制成本的基础上尽可能完善实验设备,保证本科生实验教学质量,开设课程设计、微电子工艺实验及毕业设计,以教养教,培养符合用人单位标准的应用型人才。

主 题 词：微电子课程 实验设备 半导体工艺 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-0686.2019.03.034

馆 藏 号：203692073...