微小型MEMS测试标定实验仪伺服系统设计

作     者：张鹏 李维刚 王树森 李孟委 李登 ZHANG Peng;LI Wei-gang;WANG Shu-sen;LI Meng-wei

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器与电子学院山西太原030051 

基　　金：军委装备发展部预研基金资助项目 山西省研究生教育创新资助项目(2017SY066) 

出 版 物：《中北大学学报（自然科学版）》 (Journal of North University of China(Natural Science Edition))

年 卷 期：2019年第40卷第5期

页      码：476-480页

摘      要：以实验教学为使用背景设计了一台多功能微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)测试标定平台,主要实现平台稳定控制功能和转台测试功能.针对中低精度MEMS惯性器件的测试标定需求,提出了设计的关键技术及指标,分析了陀螺伺服稳定平台原理,从坐标系变化的角度分析了干扰信号的耦合机理,同时解释了稳定平台隔离震动的工作原理.对陀螺稳定平台常用的双闭环控制原理进行建模和Simulink仿真,结果表明所设计的陀螺稳定平台伺服系统的控制策略能满足陀螺稳定平台控制需求.

主 题 词：稳定平台 实验教学 伺服 双闭环控制 Simulink仿真 

学科分类：1202[管理学-工商管理类] 080202[080202] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-3193.2019.05.017

馆 藏 号：203692127...