基于干涉法的反射式光栅旋转角度检测方法

作     者：张文涛 杨越越 张玉婷 吴萍 熊显名 杜浩 Zhang Wentao;Yang Yueyue;Zhang Yuting;Wu Ping;Xiong Xianming;Du Hao

作者机构：桂林电子科技大学电子工程与自动化学院广西桂林541004 上海微电子装备(集团)股份有限公司上海201203 

基　　金：国家科技重大专项(2017ZX02101007-003) 国家自然科学基金(61565004) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2019年第56卷第11期

页      码：65-70页

摘      要：基于多块光栅拼接理论,建立了光栅旋转角与衍射光束偏角关系的数学模型,设计了一种基于干涉法的光栅旋转角度检测光路,用Zygo干涉仪实现了光栅0级与1级衍射波前检测,并研究了反射镜安装误差引起的模型误差。实验结果表明,利用理论模型对光栅姿态在0~500μrad内调整时,光栅间栅线平行度的最大相对测量误差为3.85%。而反射镜俯仰角和偏摆角在0″~20″变化时,所引起的光栅间栅线平行度的最大相对测量误差分别为4.99%和3.77%。

主 题 词：光栅 转角检测 干涉 衍射波前 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/LOP56.110501

馆 藏 号：203692184...