基于DSP晶圆传输平台自动识别算法的研究

作     者：李崇 栾显晔 陈廷辉 宋宇宁 LI Chong;LUAN Xian-ye;CHEN Ting-hui;SONG Yu-ning

作者机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司 

出 版 物：《新型工业化》 (The Journal of New Industrialization)

年 卷 期：2019年第9卷第5期

页      码：65-69页

摘      要：针对晶圆传输系统快速、平稳、可靠的特点,设计了一款基于DSP微控制器的晶圆传输平台,提供了一种应用DSP微控制器实现在晶圆传输系统中自动扫描识别的算法。该算法能够有效识别导致晶圆自动传输失败的叠片、跨片和空片现象,完善晶圆自动传输过程中的报警机制。通过在产品中的应用以及详细实验数据的分析,该算法具备有效性及实用性,可在行业内广泛推广使用。

主 题 词：DSP 晶圆传输平台 自动识别 叠片 跨片 

学科分类：08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.19335/j.cnki.2095-6649.2019.05.015

馆 藏 号：203692368...