用于电流传感的声表面波磁致伸缩效应

作     者：贾雅娜 王文 薛蓄峰 汪承灏 周庆莉 李鹤 JIA Yana;WANG Wen;XUE Xufeng;WANG Chenghao;ZHOU Qingli;LI He

作者机构：中国科学院声学研究所北京100190 首都师范大学北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金项目(11774381) 中国科学院前沿科学重点研究项目(QYZDY-SSW-JSC007)资助 

出 版 物：《声学学报》 (Acta Acustica)

年 卷 期：2019年第44卷第4期

页      码：756-764页

摘      要：利用声表面波(SAW)磁致伸缩效应可以实现一种快速、高灵敏度的电流检测方法,但磁致伸缩薄膜内部矫顽力导致了明显的磁滞误差。磁致伸缩薄膜的栅阵化设计可以减小磁致伸缩时薄膜内部矫顽力,抑制磁滞现象,从而实现高灵敏和低迟滞误差的SAW电流检测。结合有限元和耦合模理论对沉积铁钴(FeCo)薄膜栅阵的声表面波电流传感器中的磁致伸缩效应进行分析,对传感响应进行仿真,确定优化的传感结构参数。为验证理论分析,实验研制了频率为150 MHz的声表面波电流传感器件,并结合差分振荡电路及亥姆霍兹线圈,建立传感器测试系统.实验结果表明,磁致伸缩薄膜的栅阵设计大幅降低了迟滞误差,并显著提升了传感器灵敏度。

主 题 词：磁致伸缩效应 电流传感器 声表面波 磁致伸缩薄膜 磁滞误差 亥姆霍兹线圈 传感器灵敏度 电流检测 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.15949/j.cnki.0371-0025.2019.04.037

馆 藏 号：203692368...