长工作距变焦显微系统物镜设计

作     者：张润泽 陈宇 张家铭 李阳 张健 Zhang Runze;Chen Yu;Zhang Jiaming;Li Yang;Zhang Jian

作者机构：长春理工大学光电工程学院 

基　　金：吉林省发改委产业创新专项资金(2017C037-1) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2019年第48卷第6期

页      码：410-415页

摘      要：激光内雕机在进行激光内雕时,经常会存在激光"炸点"不均匀的情况,需要对其进行放大分析,从而更好地控制激光束的能量。根据企业激光内雕"炸点"观察需求,设计了一款长工作距变焦显微物镜。玻璃内部的"炸点"观察范围为9~32 mm,系统采用光学变焦方式,变焦范围为6~24 mm,放大倍率为4×~16×,变倍比为4倍。探测器采用了一款型号为VA-1MG2的1/2 in(1 in=2.54 cm)CCD,其像元大小为5.5μm。利用Zemax进行光学系统设计优化,在截止频率91 lp/mm处,各组态下各视场的MTF值均大于0.4,在中心视场和0.7视场处均接近衍射极限。点列图的RMS半径也均小于艾里斑半径,满足长工作距变焦显微系统的各项指标需求。

主 题 词：长工作距离 变焦显微物镜 光学设计 激光“炸点” 

学科分类：1304[艺术学-美术学类] 13[艺术学] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA201948.0618003

馆 藏 号：203692394...