纳米膜共振隧穿效应微陀螺的设计与测试

作     者：刘俊 马宗敏 石云波 杜康 张文栋 张斌珍 LIU Jun;MA Zong-min;SHI Yun-bo;DU Kang;ZHANG Wen-dong;ZHANG Bin-zhen

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然基金资助项目(50675212) 国家自然科学基金重点资助项目(50730009) 

出 版 物：《兵工学报》 (Acta Armamentarii)

年 卷 期：2009年第30卷第5期

页      码：607-612页

摘      要：提出了一种新颖的基于纳米薄膜共振隧穿结构(RTS)的微陀螺。对共振隧穿结构的介观压阻效应进行了理论分析;设计了RTS的结构和工艺方法;制备出了能反映共振隧穿效应的RTS结构。该结构降低了器件的寄生电容,改善了敏感薄膜的负阻特性,适用于共振隧穿效应陀螺。对共振隧穿效应陀螺进行了结构设计和理论仿真;利用体工艺制造了微陀螺;对陀螺的关键性能参数进行了测试。

主 题 词：仪器仪表技术 共振隧穿效应 陀螺仪 纳米薄膜 负阻特性 设计 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-1093.2009.05.018

馆 藏 号：203694030...