MEMS中梯形变截面梁优化设计

作     者：孙江宏 鹿昆磊 易源霖 韩建男 SUN JiangHong;LU KunLei;YI YuanLin;HAN JianNan

作者机构：北京信息科技大学机电工程学院 

基　　金：国家重大科学仪器设备专项(2014YQ24044504) 科技创新服务能力建设基金(71F1810929)资助~~ 

出 版 物：《机械强度》 (Journal of Mechanical Strength)

年 卷 期：2019年第41卷第4期

页      码：871-875页

摘      要：MEMS器件结构设计影响传感器的性能。为了提高加速度计系统稳定性,选用梯形变截面梁减小应力集中,同时将检测方向刚度和非检测方向刚度差值最大,减小交叉灵敏度并提高工作稳定性;为使系统动态特性达到最佳,选用合适的阻尼比ξ,计算出梁检测方向理论刚度。建立梯形变截面梁的力学模型,得到梯形变截面梁刚度方程,并给出了梁的强度。梯形等截面梁和梯形变截面梁同等刚度条件下,变截面梁质量稍微增加,但危险截面处应力大幅下降。

主 题 词：梯形变截面梁 刚度 动态特性 稳定性 强度 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0701[理学-数学类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.16579/j.issn.1001.9669.2019.04.017

馆 藏 号：203695646...