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应用参数设计法改善轻触薄膜位置检查装置的测量精度

应用参数设计法改善轻触薄膜位置检查装置的测量精度

作     者:应靖鸿 张月义 胡静 宋明顺 YING Jing-hong;ZHANG Yue-yi;HU Jing;SONG Ming-shun

作者机构:中国计量大学经济与管理学院 

基  金:国家社会科学基金一般项目(18BJY033) 

出 版 物:《数学的实践与认识》 (Mathematics in Practice and Theory)

年 卷 期:2019年第49卷第12期

页      码:207-214页

摘      要:贴膜位置的偏移是轻触薄膜开关出现不良品的主要因素之一,位置偏移量的大小在很大程度上取决于用来检查贴膜位置偏移的位置测量装置的测量精度.通过参数设计的方法,系统分析影响位置测量装置测量精度的影响因素,依据L18(21×37)正交表安排正交试验,将贴膜上20个金属弹片两两之间的距离作为信号因子,通过比例式校准模型分别计算每次试验的SN比和比例系数,分析最优的因子水平组合.研究表明,优化后的位置检查装置识别能力得到了明显的改善,最适合条件的位置检查装置具有更好的测量精确度.

主 题 词:位置检查装置 参数设计 测量精度 比例式校准 

学科分类:08[工学] 0804[工学-材料学] 

馆 藏 号:203699566...

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