频闪干涉仪在微机电系统动态表征中的应用

作     者：郭彤 胡春光 胡晓东 栗大超 金翠云 傅星 胡小唐 

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 

基　　金：国家"863"计划资助项目(2004AA404042) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2004年第2卷第4期

页      码：294-298页

摘      要：微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动MEMS器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.

主 题 词：MEMS器件 大功率激光二极管 微机电系统(MEMS) LD 微谐振器 相移干涉 多晶硅 算法 工程开发 可视化 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2004.04.010

馆 藏 号：203700868...