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热壁MOCVDHg_(1-x)Cd_xTe中的Hg蒸汽压和分配比

热壁MOCVDHg_(1-x)Cd_xTe中的Hg蒸汽压和分配比

作     者:丁永庆 彭瑞伍 韦光宇 陈记安 李贤春 张玉平 刘克岳 赵振香 

作者机构:中国科学院上海冶金研究所华北光电研究所 

出 版 物:《Journal of Semiconductors》 (半导体学报(英文版))

年 卷 期:1994年第15卷第4期

页      码:264-267页

摘      要:本文改进和设计了新型可移动式加热电阻炉和反应器,避免了二乙基碲(DETe)与二甲基镉(DMCd)的直接反应,减了预沉积,在Te/Cd比的控制更为准确的条件下重复稳定地获得了x=0.2响应波长为10.6μm的Hg1-xCdxTe材料.其中有关组份x值的实验结果首次证明与Kisker的热力学模型基本相符.

主 题 词:碲镉汞材料 蒸气压 MOCVD 分配比 

学科分类:080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录:

馆 藏 号:203700964...

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