基于MZI光波导的MOEMS压力传感器

作     者：王仕超 张晓霞 周勇 王祥斌 陈沛然 冷洁 WANG Shi-chao;ZHANG Xiao-xia;ZHOU Yong;WANG Xiang-bin;CHEN Pei-ran;LENG Jie

作者机构：电子科技大学光电信息学院四川成都610054 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)(2009AA03Z413) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2009年第12期

页      码：4-6页

摘      要：集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力。设计了基于MZI光波导的MOEMS压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响。通过设计弹性薄膜的尺寸(a=2 mm,b=1 mm,h=20μm)和选用波长为1.31μm的单模激光,得到传感器的灵敏度为1.84×10-2kPa,半波压力为85 kPa.

主 题 词：MOEMS MZI 压力传感器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2009.12.002

馆 藏 号：203702685...